光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。
另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)
可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF規範之機台，皆有可相容的型號產品提供。
| 吋別 |
材質 |
產品編碼 |
充氣功能 |
金屬遮蔽 |
裝箱數 |
ASYST ASML Pod
|
ABS |
RSP-A-A |
x |
x |
4 PCS |
| ASYSYT Metal Pod |
ABS+SUS |
RSP-A-M |
x |
v |
4 PCS |
| ASYST NIKON Pod |
ABS |
RSP-A-N |
x |
x |
4 PCS |
| BKM7 (RSP150) |
PEEK |
RSP-BKM7 |
v |
v |
4 PCS |
| UPPP (RSP150) |
PEEK |
RSP-UPPP |
v |
v |
4 PCS |
| UPNP (RSP150) |
PC |
RSP-UPNP |
x |
x |
4 PCS |
| CKPP (RSP150) |
PEEK |
RSP-CKPP |
v |
x |
4 PCS |
| CKAP (RSP150) |
ABS |
RSP-CKAP |
v |
x |
4 PCS |
| Nikon Reticle Case |
ABS+AL |
NR-C150 |
x |
x |
14 PCS |
|
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