晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
方片玻璃承載系列 ● Square Glass Cassette ● 面板級扇出型封裝系列
無塵室潔淨清洗組裝及設備 ● 無塵室清洗介紹 ● 無塵室潔淨清洗機 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)
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光罩傳輸盒 / 光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化機台。ASYST ASML Pod適用於ASML曝光機。