晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
方片玻璃承載系列 ● Square Glass Cassette ● 面板級扇出型封裝系列
無塵室潔淨清洗組裝及設備 ● 無塵室清洗介紹 ● 無塵室潔淨清洗機 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)
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光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。 另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)
可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等,符合SEMI SMIF規範之機台,皆有可相容的型號產品提供。