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產品服務

光罩盒 / RSP 150 / Mask SMIF Pod

晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
　 Storage Box
● 其他

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)
● 300mm(12吋)

不銹鋼客製化系列
●晶圓框架 Metal Frame /
　Wafer Frame / Wafer Ring
　雷雕刻字清洗服務

封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box

光罩傳輸系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
　 Mask SMIF Pod

方片玻璃承載系列
● Square Glass Cassette
● 面板級扇出型封裝系列

太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

玻璃基板傳送卡匣系列
● Normal Cassette & 台車
 ● TFT-LCD Robot Fork工程實績

光電半導體設備
● 檢驗治具及檢驗系統

塑膠鋼模製造
● 模具射出代工服務
● 板棒材加工 / 零組件 / 加工組件
● CFRP碳纖維複合材料開發應用

無塵室潔淨清洗組裝及設備
● 無塵室清洗介紹
 ● 無塵室潔淨清洗機
 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)

實驗室檢測服務
● 實驗室微污染離子檢測服務

業務諮詢
● 總公司-台灣
窗口：李小姐
電話：+886-3-318-5300 #202
傳真：+886-3-328-2290
信箱：sales@ckplas.com

● 總經銷-中國
窗口：李小姐
電話：+86-512-83667689/90
傳真：+86-512-83667691
信箱：sales@ckplas.com.cn

OHT光罩自動化傳輸盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150

● 產品名稱：OHT光罩自動化傳送盒

● 產品編碼：RSP-CKPP-O

● 產品尺寸：
　229.8mm(L)*227.3mm(W)*91.8mm(H)

● 重　　量：1340g

● 容　　量：1 PCS

● 適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

● 組成材質：PEEK

OHT光罩自動化傳輸盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。

具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制， Top Flange設計，支援AMHS之OHT快速傳輸。

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF規範之機台，皆有可相容的型號產品提供。

OHT光罩自動化傳輸盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制， Top Flange設計，支援AMHS之OHT快速傳輸。

吋別	材質	產品編碼	充氣功能	金屬遮蔽	裝箱數
ASYST ASML Pod	ABS	RSP-A-A	x	x	4 PCS
ASYSYT Metal Pod	ABS+SUS	RSP-A-M	x	v	4 PCS
ASYST NIKON Pod	ABS	RSP-A-N	x	x	4 PCS
BKM7 (RSP150)	PEEK	RSP-BKM7	v	v	4 PCS
UPPP (RSP150)	PEEK	RSP-UPPP	v	v	4 PCS
UPNP (RSP150)	PC	RSP-UPNP	x	x	4 PCS
CKPP (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP	v	x	4 PCS
CKPP-O (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP-O	v	v
CKAP (RSP150)	ABS	RSP-CKAP	v	x	4 PCS
Nikon Reticle Case	ABS+AL	NR-C150	x	x	14 PCS


RFID安裝		條碼貼紙		Run Cad 安裝

UPNP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具