PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等，第二代半導體、第三代半導體材料)的容器，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。
| 吋別 |
產品編碼 |
尺寸(mm) |
裝箱數 |
| 4" PEEK Cassette |
PK-C100
|
142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H) |
20 PCS |
| 6" PEEK Cassette |
PK-C150 |
142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H) |
12 PCS |
| 6.125" PEEK Cassette |
PK-C155 |
143.5(L) x 177.8(W) x 171.45(H) |
12 PCS |
| 6.3" PEEK Cassette |
PK-C160 |
182.5(L) x 187(W) x 144(H) |
|
8" PEEK Cassette
25 slot 無把手 |
PK-C200 |
233.2(L) x 201.5(W) x 221.4(H) |
6 PCS |
8" PEEK Cassette
25 slot 有把手 |
PK-C200-H |
233.2(L) x 218.5(W) x 221.4(H) |
6 PCS |
8" PEEK Cassette
13 slot有把手
|
PK-C200-T |
235(L) x 202.54(W) x 218.94(H) |
6 PCS |
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