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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
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晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
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|150mm(6吋) PEEK Cassette / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具

 
150mm(6吋) PEEK Cassette / 晶舟盒/晶圓載具
產品規格
● 產品名稱:6" PEEK Cassette
● 產品編碼:PK-C150
● 產品尺寸:
 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H)mm
● 重  量:369g
● 容  量:25 PCS
● 適用圓形基底尺寸:6 inch (Ø150mm)
● 組成材質:PEEK ESD
● 槽  距:4.76 mm
線上諮詢
產品說明

PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。

吋別 產品編碼 尺寸(mm) 裝箱數
4" PEEK Cassette PK-C100
142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H) 20 PCS
6" PEEK Cassette PK-C150 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H) 12 PCS
6.125" PEEK Cassette PK-C155 143.5(L) x 177.8(W) x 171.45(H) 12 PCS
6.3" PEEK Cassette PK-C160 182.5(L) x 187(W) x 144(H)  
8" PEEK Cassette
25 slot 無把手
PK-C200 233.2(L) x 201.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
25 slot 有把手
PK-C200-H 233.2(L) x 218.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
13 slot有把手
PK-C200-T 235(L) x 202.54(W) x 218.94(H) 6 PCS

 

產品特點
● 耐高溫、高耐磨、高穩定性、抗靜電性材料
● 廠內傳送使用
● 可搭配6" Storage Box氣密保護晶圓
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
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