方片玻璃FOUP / Panel FOUP,GL-FP200 FOUP 可承載方片玻璃、Glass Panel。方片玻璃FOUP應用於面板級扇出型封裝Panel FOUP for FoPLP (Fan-out Panel Level Process),提供高潔淨度承載與自動化解決方案。
方片玻璃FOUP/Panel FOUP特點
● 客製化尺寸設計,相容300mm設備,可支援AMHS或自動化傳載
● 充氣設計2進2出,提供高潔淨度承載。
● 專利字號:
台灣專利字號第M552477、M552478、 M588105、M588108、M588355號
中國大陸專利字號第CN210556833U號 |