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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

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| 鐵製晶圓盒100mm(4吋) / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣

 
鐵製晶圓盒
產品規格
● 產品名稱:4" Metal Cassette
● 產品編碼:MT-C100-A
● 產品尺寸:
125.5(L) x 143(W) x 115(H)mm
● 容  量:25 PCS
● 適用圓形基底尺寸:4 inch (Ø100mm)
● 組成材質:Metal
● 槽  距:4.76 mm
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產品說明

鐵製晶圓盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體、發光二級體磊晶片、長晶片、晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中,耐高溫,廠內傳送使用。

鐵製晶圓盒

鐵製晶圓盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 /
Metal Cassettem 2"~12"

吋別 備註 產品編碼 尺寸(mm)
2" Metal Cassette 25 Slot MT-C050
142.6(L) x 62(W) x 58.5(H)
3" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C075 143.2(L) x 89.6(W) x85(H)
4" Metal Cassette 25 Slot MT-C100-A 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-B 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-C 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 12 Slot MT-C100-T 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
6" Metal Cassette 25 Slot MT-C150-A 143.38(L) x 177.8(W) x 171.4(H)
6" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C150-B 165.3(L) x 143(W) x 159(H)
6" Metal Cassette 50 Slot MT-C150-C 158(L) x 176(W) x 165.5(H)
6" Metal Cassette 12 Slot MT-C150-T 143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-A 214(L) x 202.7(W) x 206(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-B 205.54(L)x240(W)x218.94(H)
12" Metal Cassette 25 Slot MT-C300 312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)

 

產品特點
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程
Metal Cassette
鐵製晶圓盒
280~300℃ 可客製化設計及修改,堅固耐用、不易毀損,並防止Particle、沾污等問題。 高溫製程
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
加裝RFID   雷雕
加裝RFID   Cassette 雷雕
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