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![產品規格](../ch_img/in_25.jpg) |
● 產品名稱:前開式晶圓傳輸盒(透明FOUP) |
● 產品型號:H300-S1T |
● 產品尺寸:
440(L) x 347(W) x 337(H)mm |
● 重 量:5000g |
● 容 量:25 PCS |
● 適用圓形基底尺寸:300mm(12吋)晶圓 |
● 組成材質:客製化 |
● 槽 距:10 mm |
![線上諮詢](../ch_img/contact.gif) |
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![產品說明](../ch_img/in_26.jpg) |
透明FOUP / PC FOUP / 前開式晶圓傳輸盒 FOUP,可保護、運送、並儲存300mm晶圓,在運輸傳載及儲存時提供安全防護。透明FOUP可選擇低吸濕性材質,有效降低晶圓受到微塵汙染的風險,避免晶圓受靜電損害,進而促進良率。透明FOUP / PC FOUP 支援AMHS功能,尺寸符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
透明FOUP / PC FOUP特點
● 全產品設計皆符合SEMI Standard
● wafer supporter可符合不同厚薄度wafer承載需求
● 可選擇性搭配RFID或RunCard,利於產品追蹤
● 減少組裝部件,避免零件損壞 |
![透明FOUP / PC FOUP / 前開式晶圓傳輸盒 FOUP 正面](../ch_img/h300s1tfoup_1.jpg)
前開式晶圓傳輸盒-正面
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![透明FOUP / PC FOUP / 前開式晶圓傳輸盒 FOUP 背面](../ch_img/h300s1tfoup_3.jpg)
前開式晶圓傳輸盒-背面 |
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![透明FOUP / PC FOUP / 前開式晶圓傳輸盒 FOUP](../ch_img/foup_12_2.jpg) |
![前開式晶圓傳送盒CK313](../ch_img/foup_13s_m_1.jpg) |
![前開式晶圓傳送盒CK313](../ch_img/foup_13s_c_1.jpg) |
![前開式晶圓傳送盒CK300](../ch_img/foup_25s_1.jpg) |
FOUP CKH313
13 slot 有舌片款 |
FOUP CKH313
13 slot 無舌片款 |
FOUP CKH300
25 slot |
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12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒 款式對照 |
晶圓 |
一般晶圓 |
薄化晶圓 |
類型 |
一般製程 |
低吸濕性 |
一般製程 |
低吸濕性 |
高溫製程 |
型號 |
H300-S1 |
H300-L1 |
H313-S1 |
H313-S2 |
H313-S3 |
H313-L1 |
H313-L2 |
CK313HT |
容量 |
25 slot |
25 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
重量 |
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5.6kg |
6.2kg |
6kg |
5kg |
6kg |
6.6kg |
本體
材質 |
PC ESD |
CBM ESD |
PC ESD |
PC ESD |
PC ESD |
CBM ESD |
CBM ESD |
PEI ESD |
後視窗 |
ESD
透窗 |
ESD
黑窗 |
ESD
透窗 |
ESD
黑窗舌片 |
ESD
透窗舌片 |
ESD
黑窗 |
ESD
黑窗舌片 |
ESD
活動氣密蓋 |
耐溫度 |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 60°C |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 150°C |
充氣
孔距 |
160x250 |
160x250 |
160x260 |
RUN CARD |
v |
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v |
v |
v |
v |
v |
x |
RFID |
v |
v |
v |
v |
v |
v |
v |
x |
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● 依製程需求,可選擇一般款FOUP或是低吸濕性材質FOUP。
● 另有耐高溫FOUP可達到製程整合,或是可使用薄化晶圓的對應型號。 |
![耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)與活動後視窗](../ch_img/foup_13s_m_6.jpg) |
![耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)活動後視窗安裝動態](../ch_img/foup_13s.gif) |
耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)與活動後視窗 |
耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)
活動後視窗安裝動態 |
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● 專利字號:
台灣專利字號第I586597、M563421、M588109、M628876、M625383、M654854號
中國專利字號第CN204348693U、CN205609490U、 CN206259327U、CN208007736U、CN210654281U號
韓國專利字號 20-0486265號 |
![客製化項目](../ch_img/in_28.jpg) |
![透明FOUP / PC FOUP / 前開式晶圓傳輸盒 FOUP 可加裝RFID & Run Card](../ch_img/foup_25s_6.jpg) |
![晶圓傳輸盒](../ch_img/foup_13s_m_7.jpg) |
● 可加裝RFID & Run Card |
● ESD 黑窗舌片款 |
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