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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
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● 300mm(12吋)

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 Wafer Frame / Wafer Ring
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| 晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)

 
晶舟自動化傳送盒
產品規格
● 產品名稱:SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒
● 產品編碼:WSP200
● 產品尺寸:
  292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm
● 重  量:2600g
● 容  量:1 Set 8”Wafer Cassette
● 適用圓形基底尺寸:200mm(8吋)晶圓
● 組成材質:PC/PC ESD
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產品說明

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒,自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette),可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

● 高潔淨度承載,選配充氣功能,耐高溫耐磨耗材質
● CHD三點定位接觸設計,減少印痕

晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒
8" 晶舟自動化傳送盒 8" 晶舟自動化傳送盒 底盤無螺絲設計版本
產品特點

● 專利字號:
台灣專利字號第M582948號

● 可搭配RFID電子貨架使用,可自動讀取RFID,記錄每個格位最近100筆RFID資料,並透過人機介面查詢。

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