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太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

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晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)

● 產品名稱：SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒

● 產品編碼：WSP200

● 產品尺寸：
　 292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm

● 重　　量：2600g

● 容　　量：1 Set 8”Wafer Cassette

● 適用圓形基底尺寸：200mm(8吋)晶圓

● 組成材質：PC/PC ESD

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

● 高潔淨度承載，選配充氣功能，耐高溫耐磨耗材質
● CHD三點定位接觸設計，減少印痕

8" 晶舟自動化傳送盒

底盤無螺絲設計版本

● 專利字號：
台灣專利字號第M582948號

● 可搭配RFID電子貨架使用，可自動讀取RFID，記錄每個格位最近100筆RFID資料，並透過人機介面查詢。

晶舟自動化傳送盒 ﻿/ 晶舟傳送盒 ﻿/ Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)