Frame FOUP ADV / Tape Frame FOUP ADV / FOUP ADV底盤相容版,CKF300 ADV應用於半導體封裝製程中,承載固定晶圓的框架(Metal Frame) 。Frame FOUP ADV採抗靜電材料,輕量化、密閉設計,隔離保護晶圓,底盤採FOUP形式通用設計,用於各製程機台傳送儲存及保護封裝晶圓。
Frame FOUP ADV / Tape Frame FOUP ADV特點
● Frame FOUP ADV / Tape Frame FOUP ADV為一體成形設計,門片可使用Tape Frame FOUP Load Port機械自動化開啟,底盤採FOUP形式通用設計,KC Pin相容性高。
● Frame FOUP ADV / Tape Frame FOUP ADV可應用於AMHS/AGV自動化傳輸系統、智慧料架自動化儲存,高強度 Top Flange,抗震耐磨。
● 專利字號:
台灣專利字號第M566707、M566903、M566905、M644369、M607955號
中國專利字號第CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U、CN202323288643.4號
美國專利字號第US10847394B2
號
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