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| ● 產品名稱：FOUP前開式晶圓傳輸盒 |
| ● 產品型號：I300系列 |
| ● 產品尺寸：349(L) x 420(W) x 337(H)mm |
| ● 重 量：5000g |
| ● 容 量：25 PCS |
| ● 適用圓形基底尺寸：300mm(12吋)晶圓 |
| ● 組成材質：客製化 |
| ● 槽 距：10 mm |
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一體成型 FOUP, Front Opening Unified Pod / 前開式晶圓傳送盒，I300 FOUP 可保護、運送、並儲存300mm晶圓，在運輸傳載及儲存時提供安全防護。有效降低晶圓受到微塵汙染的風險，避免晶圓受靜電損害，進而促進良率。支援AMHS功能，尺寸符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
一體成型 FOUP, Front Opening Unified Pod特點
● I300一體成型 FOUP有穩定且精准的空間特性，FOUP產品外觀上採一體成型設計，，無螺絲裝配，可杜絕螺絲鬆脫的風險。更能確保自動化操作安全和可靠，杜絕AMHS系統震動時螺絲鬆動風險。
● 具有耐磨耗晶圓支撐器、wafer防滑動supporter設計和可透視視窗。
● 把手可依照製程需求，分色進行快速識別。
● 依製程需求，可選擇一般款FOUP或是低吸濕性材質FOUP。
● 另有耐高溫FOUP可達到製程整合，或是可使用薄化晶圓的對應型號。
● I300 FOUP參照SEMI標準規章的規格控 管細節和增強標準使用。 |
一體成型 FOUP-正面
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 一體成型 FOUP-背面
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 一體成型 FOUP-專用鑰匙
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把手可依製程需求分色
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 一體成型 FOUP-門片
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 一體成型 FOUP-底盤
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| 12吋 FOUP 前開式晶圓傳輸盒 其他款式對照 |
| 晶圓 |
一般晶圓 |
薄化晶圓 |
| 類型 |
一般製程 |
低吸濕性 |
低吸濕性 |
一般製程 |
低吸濕性 |
高溫製程 |
| 型號 |
H300-S1 |
H300-L1 |
I300 |
H313-S1 |
H313-S2 |
H313-S3 |
H313-L1 |
H313-L2 |
CK313HT |
| 容量 |
25 slot |
25 slot |
25 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
13 slot |
| 重量 |
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5.6kg |
6.2kg |
6kg |
5kg |
6kg |
6.6kg |
本體
材質 |
PC ESD |
CBM ESD |
CBM ESD |
PC ESD |
PC ESD |
PC ESD |
CBM ESD |
CBM ESD |
PEI ESD |
| 後視窗 |
ESD
透窗 |
ESD
黑窗 |
ESD
透窗
|
ESD
透窗 |
ESD
黑窗舌片 |
ESD
透窗舌片 |
ESD
黑窗 |
ESD
黑窗舌片 |
ESD
活動氣密蓋 |
| 耐溫度 |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 60°C |
≦ 80°C |
≦ 80°C |
≦ 150°C |
充氣
孔距 |
160x250 |
160x250 |
160x260 |
| RUN CARD |
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x |
| RFID |
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x |
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| 耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)與活動後視窗 |
耐高溫晶圓傳輸盒(FOUP)
活動後視窗安裝動態 |
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| ● 專利字號：
台灣專利字號第I586597、M563421、M588109、M628876、M625383、M654854號
中國專利字號第CN204348693U、CN205609490U、 CN206259327U、CN208007736U、CN210654281U號
韓國專利字號 20-0486265號 |
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| ● 可加裝RFID & Run Card |
● ESD 黑窗舌片款 |
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