晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
方片玻璃承載系列 ● Square Glass Cassette ● 面板級扇出型封裝系列
無塵室潔淨清洗組裝及設備 ● 無塵室清洗介紹 ● 無塵室潔淨清洗機 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)
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12吋電動晶舟轉換器 / Wafer Auto Transfer,於製程轉換時將不同TYPE Cassette 內的晶圓作轉換移位,特點: 1. 設有人機介面操作面板 2. 可偵測傳送與接收端載具是否放置好 3. 可感測載具有無晶圓於系統顯示 4. 緊急停止按紐