中勤實業股份有限公司 首頁 | 相關連結 | 日本語 | English | 简体中文 
   
關於中勤產品服務研發設計品質管理聯絡我們最新消息
產品服務
  home 首頁 > 產品服務 > Teflon Cassette / PFA Cassette
產品服務
  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
  Storage Box

● 其他
 

晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

  不銹鋼客製化系列
●晶圓框架 Metal Frame /
 Wafer Frame / Wafer Ring
 雷雕 刻字 清洗服務
  封裝測試系列系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box
  光罩傳輸系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
  Mask SMIF Pod
 

方片玻璃承載系列
● Square Glass Cassette
● 面板級扇出型封裝系列

  太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette
  玻璃基板傳送卡匣系列
● Normal Cassette & 台車
● TFT-LCD Robot Fork工程實績
  光電半導體設備
● 檢驗治具及檢驗系統
  塑膠鋼模製造
● 模具射出代工服務
● 板棒材加工 / 零組件 / 加工組件
● CFRP碳纖維複合材料開發應用
 

無塵室潔淨清洗組裝及設備
● 無塵室清洗介紹
● 無塵室潔淨清洗機
● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)

  實驗室檢測服務
● 實驗室微污染離子檢測服務
 

 

 

| 業務諮詢
● 總公司-台灣
窗口:李小姐
電話:+886-3-318-5300 #202
傳真:+886-3-328-2290
信箱:sales@ckplas.com

● 總經銷-中國
窗口:李小姐
電話:+86-512-83667689/90
傳真:+86-512-83667691
信箱:sales@ckplas.com.cn

facebook ig
line  linkedin
 

| 鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot

 
鐵氟龍晶圓盒
產品規格
● 產品名稱:12" Teflon Cassette / PFA Cassette
● 產品編碼:PF-C300-T
● 產品尺寸:350(L) x 180(W) x 320(H)mm
● 重  量:3600g
● 容  量:13 PCS
● 適用圓形基底尺寸:12 inch (Ø300mm)
● 組成材質:Teflon(鐵氟龍) / PFA
● 槽  距:10mm
線上諮詢
產品說明
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,可依照客戶需求設計,耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼,應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計,可應用於薄化晶圓。
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用
進入化學酸、鹼蝕刻製程中,鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持,可搭配鐵氟龍手把使用。
鐵氟龍晶圓盒晶舟提把 / 晶舟手把 / 晶圓提把 / 晶圓手把 / 晶舟夾 / PFA Handle / Teflon Handle(M Type)
鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 6"、8"、12" 12/13 slot

nPF氮化奈米氟

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別 備註 產品編碼 尺寸 裝箱數
2" 無豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS
2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS
2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A
3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS
4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
4" 鏤空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS
5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS
6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS
6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS
8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 鏤空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS
8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS
12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A

 

產品特點
● Cassette依材質特性的選擇參考:
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette
鐵氟龍晶圓盒
200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,
可焊接,缺點易變形。
一般傳輸製程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
 
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
 
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕
相關產品
鐵氟龍晶圓盒
 
鐵氟龍晶圓盒
 
鐵氟龍晶圓盒
 
鐵氟龍晶圓盒
4" 鐵氟龍晶圓盒   4" 鐵氟龍晶圓盒(鏤空版)   5" 鐵氟龍晶圓盒   2" 鐵氟龍晶圓盒(無豆)
 
 
中勤實業股份有限公司
Copyright © 2018 中勤實業股份有限公司 All Rights Reserved.
E-mail 中勤實業股份有限公司