OHT Wafer SMIF Pod 200mm(8吋) / 晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒

OHT Wafer SMIF Pod 200mm(8吋) / 晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

OHT Wafer SMIF Pod 特點

● 供客戶選擇支援符合Top Flange設計，AMHS自動化傳輸。
● 高潔淨度承載，選配充氣功能，耐高溫耐磨耗材質
● CHD三點定位接觸設計，減少印痕
● 專利字號：
台灣專利字號第M582948號
● 可搭配RFID電子貨架使用，可自動讀取RFID，記錄每個格位最近100筆RFID資料，並透過人機介面查詢。