晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
方片玻璃承載系列 ● Square Glass Cassette ● 面板級扇出型封裝系列
無塵室潔淨清洗組裝及設備 ● 無塵室清洗介紹 ● 無塵室潔淨清洗機 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)
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Process Solar Wafer Cassette / 方型晶片製程傳送卡匣 / 太陽能電池片卡匣 / 太陽能載具,承載電池片,酸鹼、高溫製程/傳輸。
清洗時卡匣旋轉90度側放,側柱可作為上壓桿功能,因此不需額外加裝上壓桿,也能固定電池片,預防電池片浮起。
專用直菱形側柱、底柱設計。 優勢:點針式接觸、接觸面積小,無疊片、無水痕產生之新型設計。