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太陽能卡匣/載具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

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鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 150mm(6吋) (Low Profile)

● 產品名稱：6" Teflon Cassette Low Profile/ PFA Cassette

● 產品編碼：PF-C150-L

● 產品尺寸：
　178(L) x 144(W) x 115(H)mm

● 重　　量：666.9g

● 容　　量：25 PCS

● 適用圓形基底尺寸：6 inch (Ø150mm)

● 組成材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA

● 槽　　距：4.76mm

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒為承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等，第二代半導體、第三代半導體材料)的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶舟盒需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。

鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶圓盒 2"~8" 25 slot (High Profile)

Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表
吋別	備註	產品編碼	尺寸	裝箱數
2"	無豆	PF-C050-B	142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm	10 PCS
2"	有豆	PF-C050	142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm	10 PCS
2.5"		PF-C060	142(L) x 79(W) x 73(H)mm	N/A
3"		PF-C075	142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm	1 PCS
4"		PF-C100	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
4"	鏤空	PF-C100-H	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
5"		PF-C125	152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm	6 PCS
6"		PF-C150	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	黑色	PF-C150-B	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	12 Slot	PF-C150-T	177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	Low Profile	PF-C150-L	143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm	12 PCS
8"		PF-C200	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	鏤空	PF-C200-H	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	13 Slot	PF-C200-T	203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	Low Profile	PF-C200-L	220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm	1 PCS
12"	13 Slot	PF-C300-T	350(L) x 180(W) x 320(H)mm	N/A

● Cassette依材質特性的選擇參考：

● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤


鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 加裝RFID		鐵氟龍晶舟盒 / Cassette 雷雕