晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
方片玻璃承載系列 ● Square Glass Cassette ● 面板級扇出型封裝系列
無塵室潔淨清洗組裝及設備 ● 無塵室清洗介紹 ● 無塵室潔淨清洗機 ● ESG綠色清洗循環(晶圓盒清洗)
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高效能光罩除塵機,應用於6012、6025光罩 用無水酒精去除光罩pellicle上面的髒汙 配有兩組萬向冷光LED燈,可微調角度 吸氣裝置可調整吸氣位置,適應不同高度的護膜框架 使用方式: 1. 滴入無水酒精 2. 滾動帶走Pellicle上的Particle 3. 吸氣裝置將無水酒精吸除,完成光罩Pellicle除塵
● 專利字號: 中國大陸專利字號第CN207457699U號