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| ● 產品名稱：8" 13 Slot Special Wafer Cassette / 製程耐溫密封卡匣 |
| ● 產品編碼：PE-C200-S |
| ● 產品尺寸：292.2(L) x 220.53(W) x 325.88(H)mm |
| ● 重 量：2130g |
| ● 容 量：13 PCS |
● 適用圓形基底尺寸：8 inch (Ø200mm)
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| ● 組成材質：PEI |
| ● 槽 距：18.5mm |
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8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 製程耐溫密封卡匣，承載薄化晶圓用於一般製程，可耐溫120度，附蓋設計，加蓋後預防落塵可直接做傳輸使用。Cassette 設計有機械夾板，支援自動化傳輸，並有RunCard設計。
 
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| 材質 |
耐溫度 |
特性 |
Cassette 應用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 強酸 強氟酸 強鹼 |
酸鹼製程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量輕，可焊接。 |
一般傳輸製程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐磨，
不易變形。 |
| PC Cassette |
80~100℃ |
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形 |
| PEI Cassette |
120℃ |
耐磨、抗靜電性。 |
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| ● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤 |
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| Cassette 加裝RFID |
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Cassette 雷雕 |
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