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  晶圓載具晶圓盒/晶舟盒系列
(半導體系列)

● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette

● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
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晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)

● 300mm(12吋)

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●晶圓框架 Metal Frame /
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| 200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot(Back Support) / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具

 
200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot(Back Support) / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具
產品規格
● 產品名稱:8" Wafer Cassette(Back Support)
● 產品編碼:PK-C200-B
● 產品尺寸:
 202.54(L) x 235(W) x 218.94(H)mm
● 重  量:
● 容  量:13 PCS
● 適用圓形基底尺寸:8 inch (Ø200mm)
● 組成材質:ESD Resin
● 槽  距:12.7mm
線上諮詢
產品說明
PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等,第二代半導體、第三代半導體材料)的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。PEEK Cassette 13 Slot 適用於加厚晶圓或薄化晶圓使用。
● 舌片款式適用於薄化晶圓
● 可搭配Storage Box氣密保護晶圓
200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot(Back Support) / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具 200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot(Back Support) / 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具
吋別 產品編碼 尺寸(mm) 裝箱數
4" PEEK Cassette PK-C100
142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H) 20 PCS
6" PEEK Cassette PK-C150 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H) 12 PCS
6.125" PEEK Cassette PK-C155 143.5(L) x 177.8(W) x 171.45(H) 12 PCS
6.3" PEEK Cassette PK-C160 182.5(L) x 187(W) x 144(H)  
8" PEEK Cassette
25 slot 無把手
PK-C200 233.2(L) x 201.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
25 slot 有把手
PK-C200-H 233.2(L) x 218.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
13 slot有把手
PK-C200-T 235(L) x 202.54(W) x 218.94(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
13 slot有把手/有舌片
PK-C200-B 202.54(L) x 235(W) x 218.94(H) 6 PCS
 
 
材質 耐溫度 特性 Cassette 應用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量輕,可焊接。 一般傳輸製程
PEEK Cassette 150~200℃ 硬度高、耐磨,
不易變形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。
客製化項目
● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
Cassette 加裝RFID   Cassette 雷雕
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