晶圓載具晶圓盒吋別快速導覽 ● 150mm(6吋) ● 200mm(8吋) ● 300mm(12吋)
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晶圓擴張環卡匣 / Hoop Ring Cassette / Wafer Expander Ring Cassette,用於承載8吋擴張環承載6吋晶圓(150mm wafer),使用在站別運輸。