CBM Wafer Cassette / ESD Wafer Cassette / 200mm(8吋)製程卡匣，承載半導體晶圓片(矽晶圓、鍺、砷化鎵、碳化矽、氮化鎵…等，第二代半導體、第三代半導體材料)的容器，CBM Wafer Cassette低吸濕性材質高潔淨度，使用在站別運輸或出貨用途，不可使用於化學製程。
● 低吸濕性材質
● 可選抗靜電材料
● 廠內傳送使用
● 可搭配Storage Box氣密保護晶圓
| PP / PEI Cassette 尺寸編碼列表 |
| 吋別 |
材質 |
片數 |
產品編碼 |
尺寸(mm) |
裝箱數 |
| 2" |
PP |
25 Slot |
PP-C050 |
124(L) x 67.4(W) x 61.5(H) |
85 PCS |
| 3" |
PP |
25 Slot |
PP-C075 |
141.8(L) x 93(W) x 85.4(H) |
56 PCS |
| 4" |
PP |
25 Slot |
PP-C100 |
141.58(L) x 126.56(W) x 116.78(H) |
30 PCS |
| 4" |
PP ESD |
25 Slot |
PP-C100-E |
141.5(L) x 127.5(W) x 115.9(H) |
20 PCS |
| 5" |
PP |
25 Slot |
PP-C125 |
153.2(L) x 143.1(W) x 145.5(H) |
16 PCS |
| 5" |
PP |
12 Slot |
PP-C125-T |
153.2(L) x 143.1(W) x 145.5(H) |
16 PCS |
| 5" |
PP ESD |
12 Slot |
PP-C125-TE |
153.2(L) x 143.1(W) x 145.5(H) |
16 PCS |
| 6" |
PP |
25 Slot |
PP-C150 |
143.38(L) x 177.8(W) x 170.82(H) |
12 PCS |
| 6" |
PP ESD |
25 Slot |
PP-C150-E |
143.38(L) x 177.8(W) x 170.82(H) |
12 PCS |
| 6" |
PP |
12 Slot |
PP-C150-T |
143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H) |
12 PCS |
| 6" |
PP ESD |
12 Slot |
PP-C150-TE |
143.38(L) x 177.8(W) x 171.33(H) |
12 PCS |
| 8" |
PP ESD
|
25 Slot
無手把 |
PP-C200
|
235(L) x 203.2(W) x 219(H) |
6 PCS |
| 8" |
PP ESD |
25 Slot
有手把 |
PP-C200-H |
235(L) x 222.76(W) x 219(H) |
6 PCS |
| 8" |
PP ESD |
13 Slot
無舌片 |
PP-C200-T
|
202.54(L) x 235(W) x 218.94(H) |
6 PCS |
| 8" |
PP ESD |
13 Slot
有舌片 |
PP-C200-B |
202.54(L) x 235(W) x 218.94(H) |
6 PCS |
| 8" |
PEI ESD |
25 Slot
有手把 |
PE-C200 |
234.5(L) x 202.31 (W) x 217.8 5(H) |
8 PCS |
| 8" |
PEI ESD |
13 Slot
無舌片 |
PE-C200-T |
233.6 (L)x 203.3 (W)x 217.85 (H) |
8 PCS |
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