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| ● 製品名：8" Teflon Cassette High Profile/ PFA Cassette |
| ● 外形寸法：203.05(L)*233.05(W)*218.44(H)mm |
| ● 重さ：1800g |
| ● 収納数：25 PCS |
| ● 適応サイズ：8 inch (Ø200mm)晶圓 |
| ● 材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA |
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| PFA Cassette / Teflon Cassette / 鐵氟龍晶舟盒為 承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。 |
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| ● Cassette依材質特性的選擇參考： |
| 材質 |
耐溫度 |
特性 |
Cassette 應用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 強酸 強氟酸 強鹼 |
酸鹼製程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量輕，
可焊接，缺點易變形。 |
一般傳輸製程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐高溫，
不易變形。 |
| PBT Cassette |
80~100℃ |
抗燃、耐油性佳 |
| PEI Cassette |
130~150℃ |
耐磨、抗靜電性。 |
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| ● 可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤 |
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| Cassette 加裝RFID |
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Cassette 雷雕 |
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