| |
|
 |
| ● 製品名：100mm PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット(中空) |
| ● 部品番号 ：PF-C100-H |
| ● 外形寸法：125(L)*140(W)*113(H)mm |
| ● 重さ：380g |
| ● 収納数：25 PCS(中空) |
● 丸形ベースサイズに適用：100mm ウエハ
厚さ0.5mm~0.7mmウエ |
| ● 材質：Teflon / PFA |
| ● 溝ピッチ：4.76mm |
 |
|
 |
| PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット, 化学用の製造プロセスに適用する。ウェハーキャリアである。一般的な酸またはアルカリに耐えることができる。 |
 |
| 材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
| Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
| PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
| PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
| PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
|
| PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
| PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
|
|
| |
 |
| ● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
 |
|
 |
| カセットにRFIDを付けることが可能です。 |
|
カセットに印字を付けることが可能です。 |
|
|
ホーム 
製品情報 
お問い合わせ
