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| ● 製品名：300mm PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット |
| ● 部品番号 ：PF-C300-T |
| ● 外形寸法：350(L) x 180(W) x 320(H)mm |
| ● 重さ：3600g |
| ● 収納数：13 PCS |
| ● 丸形ベースサイズに適用：300mm ウエハ |
| ● 材質：Teflon / PFA |
| ● 溝ピッチ：10mm |
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PFA ウエハカセット / Teflon ウエハカセット, 化学用の製造プロセスに適用する。ウェハーキャリアである。一般的な酸またはアルカリに耐えることができる。
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| 材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
| Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
| PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
| PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
| PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
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| PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
| PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
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| ● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
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| カセットにRFIDを付けることが可能です。 |
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カセットに印字を付けることが可能です。 |
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