OHTフォトマスク自動化転送ボックス / Reticle SMIF Pod

OHT光マスク自動化転送ボックス / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150、高い清潔度で空気中の汚染を防ぎ、6インチ光マスクをプロセスステーション間で安全に輸送および保管するための保護を確保し、自動露光裝置に使用されています。

クリーンエアインフレーション機能を備え、光マスク輸送ボックス內部のマイクロ環境の溫度と溼度を制御し、Top Flange設計、AMHSのOHT高速転送をサポートしています。

露光裝置、光マスク検査裝置、POD自動倉庫（stocker）など、関連する光マスク製造プロセス、転送用機器に対応できます。ASML、Nikon、KLAなどのブランド、SEMI SMIF仕様に準拠した機器には、互換性のあるモデルが提供されています。