ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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Reticle SMIF Pod / RSP150 6インチのRSP製品は、各工程にレチクルを安全に運ぶことが可能です。高い清浄度を維持することが出来る設計になっています。さらに自動化マシーンに応用している。N2 Purge機構を採用しているのでさらに内部の清浄度のあげることが出来る。 ASML、Nikon、Canon…などの関連RSPの製造工程/運送用マシーンに対応できる製品を提供できる。