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● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
Storage Box
● 其他
 

硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
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| 耐高温晶圆盒 / 金属料盒 / 半导体花篮 / 晶舟盒 / 耐高温卡匣 / Metal Cassettem 300mm(12英寸)

 
耐高温卡匣
产品规格
● 产品名称：12" Metal Cassette
● 产品编码：MT-C300
● 产品尺寸：
　312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)mm
● 重　　量：4000g
● 容　　量：25 PCS
● 适用圆形衬底尺寸：12 inch (Ø300mm)
● 组成材质：Metal
● 槽　　距：10 mm
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产品说明

耐高温晶圆盒 / 金属料盒 / 半导体花篮 / 晶舟盒 / 耐高温卡匣 / Metal Cassettem，承载半导体晶圆片/硅片的容器，使用在高温制程烘烤使用。可定制化设计及修改，坚固耐用、不易毁损，并防止Particle、沾污等问题。
耐高温晶圆盒 / 耐高温卡匣 / 金属料盒 / 花篮 / 晶舟盒 / Metal Cassettem

耐高温晶圆盒 / 耐高温卡匣 / 金属料盒 / 花篮 / 晶舟盒 / Metal Cassettem 2"~12"

寸別 备注 产品编码 尺寸(mm)
2" Metal Cassette 25 Slot MT-C050
 142.6(L) x 62(W) x 58.5(H)
3" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C075 143.2(L) x 89.6(W) x85(H)
4" Metal Cassette 25 Slot MT-C100-A 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-B 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-C 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 12 Slot MT-C100-T 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
6" Metal Cassette 25 Slot MT-C150-A 143.38(L) x 177.8(W) x 171.4(H)
6" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C150-B 165.3(L) x 143(W) x 159(H)
6" Metal Cassette 50 Slot MT-C150-C 158(L) x 176(W) x 165.5(H)
6" Metal Cassette 12 Slot MT-C150-T 143.38(L)x177.8(W x171.33(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-A 214(L) x 202.7(W) x 206(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-B 205.54(L)x240(W)x218.94(H)
12" Metal Cassette 25 Slot MT-C300 312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)

 
产品特点
● Cassette依材质特性的选择參考：
材质 耐温度 特性 Cassette 应用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強碱 酸碱制程
Metal Cassette
耐高温卡匣		 280~300℃ 可定制化设计及修改，坚固耐用、不易毁损，并防止Particle、沾污等问题。 高温制程
PP Cassette 40~60℃ 重量轻，
可焊接，缺点易变形。		 一般传输制程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨，
不易变形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗静电性。
定制化项目
● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪
加装RFID   雷雕
加装RFID   Cassette 雷雕
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