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| ● 製品名：200mm PEI ウエハカセット(Slim Type) |
| ● 部品番号 ：PE-C200-T |
| ● 外形寸法：233.6 (L)x 203.3 (W)x 217.85 (H)mm |
| ● 重さ：932g |
| ● 収納数：13 PCS |
● 丸形ベースサイズに適用：200mm ウエハ
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| ● 材質：PEI ESD |
| ● 溝ピッチ：12.7mm |
| ● 耐熱温度：120°C |
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ウエハカセット 一般的な製造プロセスに使われる。ウェハーを載せるカセットである。各工程に搬送用として利用される。主に薄いウェハーを保存する場合は適している。
＊保管ボックスと合わせてウェハーを安全に保護できる。 |
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| 材質 |
耐熱温度 |
特徴 |
用途 |
| Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐熱性に優 |
乾燥製造工程 |
| PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の製造 |
| PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な製造 |
| PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯電防止、耐熱性に優
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| PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
| PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐熱性に優
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| ● 印字付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡が可能とな |
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| カセットにRFIDを付けることが可能です。 |
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カセットに印字を付けることが可能です。 |
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