ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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● Original equipment applicable, and AMHS applicable. E-rack automated storage. ● Top Flange high-strength materials, and anti-shock and wear resistance.
特許番号 台湾特許番号M573078、M583617、M583619、M584539、M584540、M591258、M519811