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● 製品名:200mm ライト カセット / フレームカセット |
● 部品番号 :FR-C200-A |
● 外形寸法:301(L) x 288(W) x 206.3(H)mm |
● 重さ:2700g |
● 収納数:25 PCS |
● 丸形ベースサイズに適用:200mm ウエハ |
● 材質:PC ESD |
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ライト カセット / フレームカセット
ウェハーをぶつからないように、ウェハーを保護すること。 |
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製品名 |
ウエハサイズ |
部品番号 |
収納数 |
違さ |
Frame Light Cassette |
300mm |
FR-C300-L |
13 pcs |
バッフル付きタイプ |
Frame Light Cassette(OHT) |
300mm |
FR-C300-O |
13 pcs |
Frame Airtight Cassette |
200mm |
FR-C200-A |
25 pcs |
バッフル開けタイプ |
Frame Airtight Cassette |
300mm |
FR-C300-A |
13 pcs |
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● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
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