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| ● 製品名：Frame FOUP |
| ● 部品番号 ：CKF200 |
| ● 外形寸法：387.0(L) x 392.0(W) x 196(H)mm |
| ● 収納数：13 PCS |
| ● 丸形ベースサイズに適用：8 inch (Ø200mm) |
| ● 材質：PC ESD |
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Frame FOUP Adapter ( 8-inch wafer on 12-inch process) / Frame FOUP 200mm ウェハーをぶつからないように、ウェハーを保護すること。AMHS&AGV自動化マシーンにも対応できる。
●カスタマイズされた統合バージョン-
●メカニカルオートメーションを使用してド
●アフラップを開くことができます
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| 製品名 |
ウエハサイズ |
部品番号 |
収納数 |
| Frame FOUP |
12" |
CKF300 |
13 pcs |
| Frame FOUP Plus |
12" |
CKF300 Plus |
13 pcs |
| Frame FOUP ADV |
12" |
CKF300 ADV |
13 pcs |
| Frame FOUP Adapter |
8" |
CKF200 |
13 pcs |
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特許番号
台湾特許番号：M489156、M508114、M566707、M566903、M566905、M644369、M607955
中国特許番号：CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U、CN202323288643.4
美国特許番号：US10847394B2
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| ● 印字を付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追跡をすることが可能です。 |
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