ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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12インチ電動ウェーハ自動搬送/ウェーハ自動搬送は、プロセス変換中に異なるタイプのカセット内のウェーハを変換して移動します。 1.マンマシンインターフェース操作パネルを搭載 2. 送信側車両と受信側車両が適切に配置されているかを検出できる 3. システムはキャリア上にウェーハがあるかどうかを検出できます。 4. 非常停止ボタン