ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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マニュアルカセット移送器 (8 inch)、プロセス変換中に異なるタイプのカセット内のウェーハを変換して移動します。システムはキャリア上にウェーハがあるかどうかを検出できます。
違う製造工程の間に、違うタイプのカセットにあるウェハーを変換するためです。 *たくさんの材質の選択があり、一般的な材質か、あるいは、静電気防止用の材質も提供できる。