硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览 ● 150mm(6寸) ● 200mm(8寸) ● 300mm(12寸)
方片玻璃承载系列 ● Square Glass Cassette ● 面板级扇出型封装系列
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承载半导体,二級发光体磊晶片、长晶片、晶圆片的容器使用在不同半导体、二級发光体长晶磊晶电池片制程中
1.有多种材质可选择,一般材质或抗静电皆可提供 2.將不同TYPE Cassette 內的晶圆作转换移位