光罩传输盒ASYST NIKON Pod-中勤实业股份有限公司

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● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

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● Solar Cassette/Clean Cassette

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　光罩传输盒 / 光罩传送盒 / 光罩自动化传输盒 / ASYST NIKON Pod

● 产品名称：
ASYST NIKON Pod 光罩自动化传输盒

● 产品编码：RSP-A-N

● 产品尺寸：230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm

● 重　　量：1298.5g

● 容　　量：1 PCS

● 适用光罩：6025光罩
　　　6英寸厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

● 组成材质：ABS / PC

光罩传输盒 / 光罩传送盒 / 光罩自动化传输盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜絕空气中的污染，確保6英寸光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化机台。ASYST NIKON Pod适用于NIKON曝光机。


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