2019-05-29 23:05經濟日報 楊連基
光電半導體濕式製程工藝應用，乾燥處理為製程中最重要的步驟，並決定了濕式製程的品質。專注在晶圓、光罩、玻璃傳載盒供應商中勤實業，開發獨創的nPF奈米塑材，有效解決業界在蝕刻技術上的問題。以｢新材料、新技術、新應用、新價值｣為主軸，於6月4日至6日在上海新國際博覽中心參加國際太陽能光伏與智慧能源展（SNEC PV POWER EXPO），攤位號碼E1-103，展出各類型儲存載具及新產品開發成果。
中勤實業展出nPF奈米塑材及各類型儲存載具。 中勤實業／提供
該公司創新開發的nPF奈米塑材，經氮化處裡，材料本身佈滿奈米氣孔互通的組織，具有吸氣、排氣功能，能迅速分解水滴、排除水份， 以此材料特性應用到半導體產業使用的濕製程卡匣，解決氣泡痕、水印痕等問題，日前經半導體大廠認證，縮短乾燥時間達一半以上，減少50%以上的耗電量，有效節能減碳、增加產能，獲得客戶支持好評，已大幅應用於半導體全尺寸濕製程卡匣。
在光伏產業持續優化產品設計，中勤推出｢150 slot奈米側鏈聚四氟乙烯卡匣」，將原有產能提升達1.5倍，可直接相容於原本的製程機台，搭配nPF奈米塑材，提高載具高分子塑材物性及高耐化學性、高耐溫性，進而提升單晶制绒良率，有效增加光線吸收率，提高轉換效率超過21%。並且使用「紅外線穿透式熱傳導百點熔接法」的無縫隙技術，卡匣可防止在熱漲冷縮的製程中酸鹼溶液滲入、預防化學品交叉污染等問題。
中勤榮獲多項認證、專利，跨足四大產業，整合各高科技行業製程環境過程中所需高分子材料，並設立碳纖維製品生產線，開發的玻璃基板卡匣已導入面板大廠10.5代生產線，從設計、模擬、測試、組裝，提供客戶全方位高度客製化的最佳服務。中勤實業電話（03）318-5300，網址：www.ckplas.com。
新聞連結：經濟日報
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